Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация

Домашня сторінка
→
Фізико-технічні та математичні науки
→
Відділення фізики і астрономії
→
Физическая инженерия поверхности
→
Физическая инженерия поверхности, 2003 (том 1)
→
Физическая инженерия поверхности, 2003, №1
→
Переглянути статтю

Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация

Белоус, В.А. ; Лапшин, В.И ; Марченко, И.Г. ; Неклюдов, И.М.

URI: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/101838

Посилання: Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация / В.А. Белоус, В.И Лапшин, И.Г. Марченко, И.М. Неклюдов // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 40-48. — Бібліогр.: 28 назв. — рос.

Дата: 2003

Завантажень: 604