Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов

dc.contributor.author	Валиев, К.А.
dc.contributor.author	Маишев, Ю.П.
dc.contributor.author	Шевчук, С.Л.
dc.date.accessioned	2016-06-08T10:35:39Z
dc.date.available	2016-06-08T10:35:39Z
dc.date.issued	2003
dc.identifier.citation	Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов / К.А. Валиев, Ю.П. Маишев, С.Л. Шевчук // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 27-33. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	1999-8074
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/101835
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Физическая инженерия поверхности
dc.title	Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA