Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України

Диссоциативный режим ВЧ емкостного разряда низкого давления

Репозиторій DSpace/Manakin

Диссоциативный режим ВЧ емкостного разряда низкого давления

Лисовский, В.А.
Інші назви: Дисоціативна мода вч ємнісного розряду низького тиску
Dissociative mode in low-pressure rf discharge
УДК: 533. 915
URI: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98793
Посилання: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України / В.А. Лисовский // Физическая инженерия поверхности. — 2006. — Т. 4, № 3-4. — С. 143–168. — Бібліогр.: 77 назв. — рос.
Дата: 2006
Переглядів: 738
Завантажень: 544
Диссоциативный режим ВЧ емкостного разряда низкого давления

Анотація:

 
В данной работе представлены результаты экспериментального исследования ВЧ емкостного разряда в SF₆, NF₃ и SiH₄ низкого давления.
 
У роботі наведено результати експериментального дослідження ВЧ ємнісного розряду у SF₆, NF₃ та SiH₄ низького тиску.
 
This paper presents the results of experimental studying rf capacitive discharge in low-pressure SF₆, NF₃ and SiH₄ . .
 

Показати повний запис статті

Файли у цій статті

Icon
Name: 2-Lisovskiy.pdf
Розмір: 593.6Кб
Формат: PDF
Перегляд/Відкрити

Ця стаття з'являється у наступних колекціях

Пошук


Розширений пошук

Перегляд

Мій обліковий запис