Использование ВЧ разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий

Домашня сторінка
→
Фізико-технічні та математичні науки
→
Відділення фізики і астрономії
→
Физическая инженерия поверхности
→
Физическая инженерия поверхности, 2003 (том 1)
→
Физическая инженерия поверхности, 2003, №1
→
Переглянути статтю

Использование ВЧ разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий

Гриценко, В.И. ; Береснев, В.М. ; Швец, О.М.

URI: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/101837

Посилання: Использование ВЧ разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий / В.И. Гриценко, В.М. Береснев, О.М. Швец // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 37-39. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.

Дата: 2003

Завантажень: 462