Использование ВЧ разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий

dc.contributor.author	Гриценко, В.И.
dc.contributor.author	Береснев, В.М.
dc.contributor.author	Швец, О.М.
dc.date.accessioned	2016-06-08T10:40:30Z
dc.date.available	2016-06-08T10:40:30Z
dc.date.issued	2003
dc.identifier.citation	Использование ВЧ разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий / В.И. Гриценко, В.М. Береснев, О.М. Швец // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 37-39. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	1999-8074
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/101837
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Физическая инженерия поверхности
dc.title	Использование ВЧ разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA