Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України

Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge

Репозиторій DSpace/Manakin

Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge

Lisovskiy, V.A. ; Booth, J.-P.
URI: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/101836
Посилання: Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge / V.A. Lisovskiy, J.-P. Booth // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 34-36. — Бібліогр.: 4 назв. — англ.
Дата: 2003
Переглядів: 681
Завантажень: 326
Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge

Показати повний запис статті

Файли у цій статті

Icon
Name: 05-Lisovskiy.pdf
Розмір: 411.3Кб
Формат: PDF
Перегляд/Відкрити

Ця стаття з'являється у наступних колекціях

Пошук


Розширений пошук

Перегляд

Мій обліковий запис