Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge

dc.contributor.author	Lisovskiy, V.A.
dc.contributor.author	Booth, J.-P.
dc.date.accessioned	2016-06-08T10:36:46Z
dc.date.available	2016-06-08T10:36:46Z
dc.date.issued	2003
dc.identifier.citation	Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge / V.A. Lisovskiy, J.-P. Booth // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 34-36. — Бібліогр.: 4 назв. — англ.	uk_UA
dc.identifier.issn	1999-8074
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/101836
dc.language.iso	en	uk_UA
dc.publisher	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Физическая инженерия поверхности
dc.title	Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA