Микро-нанослойные покрытия, сформированные методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ВЧ-разряда

Домашня сторінка
→
Фізико-технічні та математичні науки
→
Відділення фізики і астрономії
→
Физическая инженерия поверхности
→
Физическая инженерия поверхности, 2006 (том 4)
→
Физическая инженерия поверхности, 2006, № 1-2
→
Переглянути статтю

dc.contributor.author	Береснев, В.М.
dc.contributor.author	Толок, В.Т.
dc.contributor.author	Швец, О.М.
dc.contributor.author	Фурсова, Е.В.
dc.contributor.author	Чернышов, Н.Н.
dc.contributor.author	Маликов, Л.В.
dc.date.accessioned	2016-04-17T19:09:14Z
dc.date.available	2016-04-17T19:09:14Z
dc.date.issued	2006
dc.identifier.citation	Микро-нанослойные покрытия, сформированные методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ВЧ-разряда / В.М. Береснев, В.Т. Толок, О.М. Швец, Е.В. Фурсова, Н.Н. Чернышов, Л.В. Маликов // Физическая инженерия поверхности. — 2006. — Т. 4, № 1-2. — С. 104–109. — Бібліогр.: 20 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	1999-8074
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98788
dc.description.abstract	Показана возможность формирования слоистых покрытий TiN/Mo, TiN/БрАЖ9-4 методом вакуумно-дугового осаждения, с использованием ВЧ разряда, для очистки плазменного потока от микрочастиц. На основе расчета скоростей осаждения (толщины) определены технологические параметры, позволяющие формировать нанослоистые структуры. Установлены закономерности изменения фазово-структурного состава, микротвердости получаемых покрытий от давления, ускоряющего потенциала подложки. Изучены триботехнические характеристики покрытий в сравнении с покрытием TiN. Результаты триботехнических испытаний свидетельствуют, что нанослойные покрытия TiN/Mo, TiN/БрАЖ9-4 по своим эксплуатационным показателям существенно превышают покрытие TiN.	uk_UA
dc.description.abstract	Доведено можливість формування шарових покриттів TiN/Mo, TiN/БрАЖ9-4 методом вакуумнодугового осадження з використанням ВЧ- розряду, для очищення плазмового потоку від мікрочастинок. На основі розрахунків швидкості осадження (товщини) визначені технологічні параметри, які дозволяють формувати наношарові структури. Установлено закономірності зміни фаза-структурного складу, мікротвердості отриманих покриттів від тиску, прискорюваного потенціалу напруги, який подається на підкладинку. Вивчено триботехнічні характеристики покриттів у порівнянні з покриттям TiN. Результати триботехнічних випробувань свідчать, що наношарові покриття TiN/ Mo, TiN/БрАЖ9-4 за своїми експлуатаційними показниками суттєво перевищують покриття TiN.	uk_UA
dc.description.abstract	The opportunity of formation of layered coverings TiN/Mo, TiN/БрАЖ9-4, by a method of vacuum-arc sedimentation with use HF of the discharge, for clearing a plasma stream of microparticles is shown. On the basis of calculations speed (thickness) the technological parameters are determined, allowing to form nanolayers structures. Laws of change phasestructural structure, microhardness of received coverings from the pressure, the accelerating potential of a substrate are established. Shown, that a study flowing of fciction characteristics of coverings in comparison with covering TiN. Results friction tests testify, that nanolayer coverings TiN/Mo, TiN/БрАЖ9-4 on the operational parameters essentially exceed covering TiN.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Физическая инженерия поверхности
dc.title	Микро-нанослойные покрытия, сформированные методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ВЧ-разряда	uk_UA
dc.title.alternative	Мікро-наношарові покриття сформовані методом вакуумно - дугового осаждення з використанням вч-розряду	uk_UA
dc.title.alternative	Mickro-nanolayer coverings produced by the method vacuum-arc deposition from use the hf-discharge	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA
dc.identifier.udc	621.793: 539.61: 669.018: 620.1