Микро-нанослойные покрытия, сформированные методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ВЧ-разряда

Abstract

Показана возможность формирования слоистых покрытий TiN/Mo, TiN/БрАЖ9-4 методом вакуумно-дугового осаждения, с использованием ВЧ разряда, для очистки плазменного потока от микрочастиц. На основе расчета скоростей осаждения (толщины) определены технологические параметры, позволяющие формировать нанослоистые структуры. Установлены закономерности изменения фазово-структурного состава, микротвердости получаемых покрытий от давления, ускоряющего потенциала подложки. Изучены триботехнические характеристики покрытий в сравнении с покрытием TiN. Результаты триботехнических испытаний свидетельствуют, что нанослойные покрытия TiN/Mo, TiN/БрАЖ9-4 по своим эксплуатационным показателям существенно превышают покрытие TiN.

Доведено можливість формування шарових покриттів TiN/Mo, TiN/БрАЖ9-4 методом вакуумнодугового осадження з використанням ВЧ- розряду, для очищення плазмового потоку від мікрочастинок. На основі розрахунків швидкості осадження (товщини) визначені технологічні параметри, які дозволяють формувати наношарові структури. Установлено закономірності зміни фаза-структурного складу, мікротвердості отриманих покриттів від тиску, прискорюваного потенціалу напруги, який подається на підкладинку. Вивчено триботехнічні характеристики покриттів у порівнянні з покриттям TiN. Результати триботехнічних випробувань свідчать, що наношарові покриття TiN/ Mo, TiN/БрАЖ9-4 за своїми експлуатаційними показниками суттєво перевищують покриття TiN.

The opportunity of formation of layered coverings TiN/Mo, TiN/БрАЖ9-4, by a method of vacuum-arc sedimentation with use HF of the discharge, for clearing a plasma stream of microparticles is shown. On the basis of calculations speed (thickness) the technological parameters are determined, allowing to form nanolayers structures. Laws of change phasestructural structure, microhardness of received coverings from the pressure, the accelerating potential of a substrate are established. Shown, that a study flowing of fciction characteristics of coverings in comparison with covering TiN. Results friction tests testify, that nanolayer coverings TiN/Mo, TiN/БрАЖ9-4 on the operational parameters essentially exceed covering TiN.