Impact of N₂+H₂ mixture plasma on carbon-containing film

Домашня сторінка
→
Фізико-технічні та математичні науки
→
Відділення ядерної фізики та енергетики
→
Вопросы атомной науки и техники
→
Bопросы атомной науки и техники, 2006
→
Вопросы атомной науки и техники, 2006, № 6
→
Переглянути статтю

Impact of N₂+H₂ mixture plasma on carbon-containing film

Voitsenya, V.S. ; Masuzaki, S. ; Motojima, O. ; Sagara, A. ; Jacob, W.

Тема: Plasma dynamics and plasma wall interaction

Інший ID: PACS: 82.33.Xj

URI: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/82153

Посилання: Impact of N₂+H₂ mixture plasma on carbon-containing film / V.S. Voitsenya, S. Masuzaki, O. Motojima, A. Sagara, W. Jacob // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 6. — С. 141-143. — Бібліогр.: 16 назв. — англ.

Дата: 2006

Завантажень: 917

Impact of N₂+H₂ mixture plasma on carbon-containing film

Анотація:

The short review is done of published data on impact of plasma produced in the N₂+H₂ mixture on carbon and organic films. It is concluded that such plasma can be much more effective in cleaning of the walls of fusion devices from a carbon-based contaminating deposit in comparison with plasmas of discharges in H₂, Ar or He.

Показати повний запис статті