Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
The influence of a DC electric field on the radio-frequency microdischarge
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
| dc.contributor.author | Bogatov, N.A. | |
| dc.date.accessioned | 2015-04-04T19:47:23Z | |
| dc.date.available | 2015-04-04T19:47:23Z | |
| dc.date.issued | 2005 | |
| dc.identifier.citation | The influence of a DC electric field on the radio-frequency microdischarge / N.A. Bogatov // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 2. — С. 191-193. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. | uk_UA |
| dc.identifier.issn | 1562-6016 | |
| dc.identifier.other | PACS: 52.80.P | |
| dc.identifier.uri | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79798 | |
| dc.description.abstract | The dependence of ionization frequency in a stationary radio-frequency microdischarge on plasma density and DC voltage applied to the discharge plasma is found. Calculation is fulfilled for a plane geometry in assumption of uniformity of radio-frequency electric field. | uk_UA |
| dc.description.abstract | Розрахована залежність частоти іонізації в стаціонарному високочастотному мікророзряді від концентрації плазми і постійної напруги, прикладеної до плазми розряду. Розрахунок виконаний для плоскої геометрії в припущенні однорідності високочастотного поля. | uk_UA |
| dc.description.abstract | Рассчитана зависимость частоты ионизации в стационарном высокочастотном микроразряде от концентрации плазмы и постоянного напряжения, приложенного к плазме разряда. Расчет выполнен для плоской геометрии в предположении однородности высокочастотного поля. | uk_UA |
| dc.language.iso | en | uk_UA |
| dc.publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України | uk_UA |
| dc.relation.ispartof | Вопросы атомной науки и техники | |
| dc.subject | Low temperature plasma and plasma technologies | uk_UA |
| dc.title | The influence of a DC electric field on the radio-frequency microdischarge | uk_UA |
| dc.title.alternative | Вплив постійного електричного поля на високочастотний мікророзряд | uk_UA |
| dc.title.alternative | Ияние постоянного электрического поля на высокочастотный микроразряд | uk_UA |
| dc.type | Article | uk_UA |
| dc.status | published earlier | uk_UA |
