В работе представлены результаты исследования структуры и химического состава TiNi после имплантации ионами N+, N+ и Ni+ с помощью TЕМ, DSC, AES- спектроскопии. Показано что в приповерхностном слое формируется двойной слой, состоящий из аморфоподобной структурой, обогащенной Ti и Ni, под которым находится слой микрокристаллической структуры, обогащенный Ti.
В работі наведені результати дослідження структури та хімічного складу TiNi після імплантації іонамі N+, N+ та Ni+ за допомогою ПЄМ, DSC, ожє-спектроскопії. Та наноіндентування. Показано що у приповерхневому шарі формується підвійний шар із аморфоподібної структури, збагаченой Ti та Ni, під яким знаходится шар мікрокристалічної структури, збагачноной Ti.
In this paper the resalts of investigation of structure and chemical composition of TiNi after an implantation by ions N+, N+ and Ni+ with the help of TЕМ, DSC, AES- spectroscopy are presented. It is shown that in a near-surface layer the double layer consisting from similar amorphous structure enriched Ti and Ni is formed, under which one there is a layer of microcrystalline structure enriched Ti.