О характере влияния различных газов на процесс конденсации покрытий из плазмы вакуумной дуги

Abstract

Изучено влияние давления аргона, кислорода и азота на скорость конденсации потоков плазмы вакуумной дуги. Для аргона основным процессом, определяющим характер зависимости скорости осаждения от давления газа, является упругое рассеяние частиц металла на атомах газа. Для кислорода наряду с упругим рассеянием на характер данных зависимостей может оказывать химическая сорбция кислорода пленкой титана. При давлении азота 1,5 ÷ 5 Па происходит увеличение скорости осаждения покрытий, существенным образом зависящее от размеров подложки. Повышение скорости осаждения в азоте в области давлений 1,5 ÷ 5 Па может быть связано с появлением в объеме разрядной камеры возбужденных частиц обладающих повышенной рассеивающей способностью.

Вивчений вплив тиску аргону, кисню і азоту на швидкість конденсації потоків плазми вакуумної дуги. Для аргону основним процесом, що визначає характер залежності швидкості осадження від тиску газу, є пружне розсіяння частинок металу на атомах газу. Для кисню разом з пружним розсіянням на характер даних залежностей може надавати хімічна сорбція кисню плівкою титану. При тиску азоту 1,5 ÷ 5 Па відбувається збільшення швидкості осадження покриттів, істотним чином залежне від розмірів підкладки. Підвищення швидкості осадження в азоті в області тиску 1,5 ÷ 5 Па може бути пов’язані з появою в об’ємі розрядної камери збуджених частинок тих, що володіють підвищеною розсіюючою здатністю.

Influencing of pressure for argon, oxygen and nitrogen is studied, on deposition rate s of vacuum arc plasma streams. For argon a basic process, determining character of deposition rate, is resilient dispersion of metal particles on the atoms of gas. For oxygen along with resilient dispersion on character of these dependences chemical sorption of oxygen can render by of titanium film. At pressure of nitrogen 1,5 ÷ 5 Pa take place multiplying of deposition rate, by substantial appearance depending on the substrate sizes. Increase of deposition rate in nitrogen in range of pressures 1,5 ÷ 5 Pa can be related to appearance in the volume of discharge chamber of the excited particles of possessing the promoted dispersive abilіty.