RF field pattern in the plasma cylinder of finite length for various antennas

Abstract

The paper deals with numerical calculations of electromagnetic fields, which are launched in the plasma cylinder of finite length surrounded by metal vessel. The RF antenna is located at the end face of the cylinder and placed between two dielectric plates. Such configuration is typical for plasma sources used for technological purposes [1, 2]. The obtained outcomes can be used for improvement of the characteristics of similar systems.

В роботі виконаний числовий розрахунок електромагнітних полів, які генеруються в обмеженому металевими стінками плазмовому циліндрі. ВЧ поля генеруються антеною, розміщеною між двома діелектричними пластинами в торці циліндра. Така конфігурація характерна для плазмових джерел, які використовуються в промислових цілях. Отримані результаті можна використовувати для покращення характеристик подібних систем.

В работе проведен численный расчет электромагнитных полей, возбуждаемых в плазменном цилиндре ограниченной длины, заключенном в металлический кожух. ВЧ поля возбуждаются антенной, расположенной на торце цилиндра и помещенной между двух диэлектрических пластин. Такая конфигурация характерна для плазменных источников, используемых в технологических целях. Полученные результаты могут быть использованы для улучшения характеристик подобных систем.