Зиков, О.В.; Яковін, С.Д.; Дудін, С.В.
(2009)
В роботі представлено результати розробки та дослідження технологічного модуля для реактивного синтезу складнокомпозіційних сполук типу оксидів та оксинітридів на базі магнетронного та ВЧ індукційного розрядів. Основна ...