Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
| dc.contributor.author | Шалаев, Р.В. | |
| dc.contributor.author | Прудников, А.М. | |
| dc.contributor.author | Варюхин, В.Н. | |
| dc.contributor.author | Турка, В.Н. | |
| dc.contributor.author | Яковец, А.А. | |
| dc.contributor.author | Жихарев, И.В. | |
| dc.contributor.author | Беляев, Б.В. | |
| dc.contributor.author | Грицких, В.А. | |
| dc.date.accessioned | 2014-11-01T08:08:31Z | |
| dc.date.available | 2014-11-01T08:08:31Z | |
| dc.date.issued | 2006 | |
| dc.identifier.citation | Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере / Р.В. Шалаев, А.М. Прудников, В.Н. Варюхин, В.Н. Турка, А.А. Яковец, И.В. Жихарев, Б.В. Беляев, В.А. Грицких // Физика и техника высоких давлений. — 2006. — Т. 16, № 3. — С. 88-95. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. | uk_UA |
| dc.identifier.issn | 0868-5924 | |
| dc.identifier.other | PACS: 81.15.Gh, 81.60.−j | |
| dc.identifier.uri | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70245 | |
| dc.description.abstract | Представлены результаты исследований роста аморфных пленок нитрида углерода a-C:N в условиях интенсивных процессов травления на ростовой поверхности. Обнаружены значительное изменение фазового состава получаемых пленок при различной концентрации травящих компонент в ростовой атмосфере и образование трех принципиально различных типов пленок a-C:N. | uk_UA |
| dc.description.abstract | Results of researches of the carbon nitride films a-C:N growth in conditions of intensive etching processes on the growth surface are presented. Significant change in phase structure of obtained films at various etching component concentrations in the growth atmosphere and formation of three essentially various types of a-C:N films are revealed. | uk_UA |
| dc.language.iso | ru | uk_UA |
| dc.publisher | Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України | uk_UA |
| dc.relation.ispartof | Физика и техника высоких давлений | |
| dc.title | Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере | uk_UA |
| dc.title.alternative | Особливості росту плівок нітриду вуглецю в присутності травлячих компонентів у ростовій атмосфері | uk_UA |
| dc.title.alternative | Features of carbon nitride films growth at presence of etching component in the growth atmosphere | uk_UA |
| dc.type | Article | uk_UA |
| dc.status | published earlier | uk_UA |
