Андреев, А.А.; Шулаев, В.М.; Горбань, В.Ф.; Столбовой, В.А.
(Физическая инженерия поверхности, 2007)
Исследована зависимость твердости наструктурных вакуумно-дуговых TiN покрытий от давления азота в процессе осаждения в диапазоне 0,02 ÷ 1 Па. Показано, что в отличие от обычных
вакуумно-дуговых TiN покрытий явно выраженной ...