Хороших, В.М.; Леонов, С.А.; Белоус, В.А.; Василенко, Р.Л.; Колодий, И.В.; Куприн, А.С.; Тихоновский, М.А.; Толмачева, Г.Н.
(Физическая инженерия поверхности, 2014)
Исследуются покрытия ZrN, получаемые осаждением потоков плазмы вакуумной дуги. Приведены результаты исследований влияния давления азота и потенциала подложки на скорость осаждения покрытий, их механические свойства, а также ...