Береснев, В.М.; Погребняк, А.Д.; Соболь, О.В.; Грудницкий, В.В.; Турбин, П.В.; Колесников, Д.А.; Толмачева, Г.Н.
(Физическая инженерия поверхности, 2010)
Приведены результаты экспериментальных исследований о влиянии физико-технологических
параметров процесса осаждения на формирования покрытий (Ti-Zr-Si)N; (Ti-Hf-Si)N из сепарированного потока металлической плазмы. Для ...