Приведены результаты экспериментальных исследований о влиянии физико-технологических
параметров процесса осаждения на формирования покрытий (Ti-Zr-Si)N; (Ti-Hf-Si)N из сепарированного потока металлической плазмы. Для системы (Ti-Zr-Si)N выявлены кристаллиты
(Zr, Ti)N твердого раствора на основе кубической решетки типа NaCl. Размер кристаллитов
изменяется в исследуемом интервале рабочих давлений незначительно и находится в области
60 ÷70 нм. Твердость полученных покрытий составила 37 ГПа. В случае системы (Ti-Hf-Si)N
формируется наноструктурная фаза µ-TiN с квазиаморфными фазами α-Si₃N₄ и HfSi₂
-nc. Максимальное значение твердости составляет Н = 42,7 ± 7 ГПа.
Наведено результати експериментальних досліджень про вплив фізико-технологічних параметрів процесу осадження на формування покриттів (Ti-Zr-Si)N; (Ti-Hf-Si)N з сепарованого
потоку металевої плазми. Для системи (Ti-Zr-Si)N виявлені кристаліти (Zr, Ti) N твердого
розчину на основі кубічної решітки типу NaCl. Розмір кристалітів змінюється у досліджуваному
інтервалі робочих тисків незначно і перебуває в області 60 ÷ 70 нм. Твердість отриманих покриттів складає 37ГПа. У випадку системи (Ti-Hf-Si)N формується наноструктурна фаза ε-TiN
з квазіаморфнимі фазами α-Si₃N₄ і HfSi₂-nc. Максимальне значення твердості становить
Н = 42,7 ± ГПа.
The results of experimental studies on the impact of physical and technological parameters of the
deposition process on the formation of coatings (Ti-Zr-Si)N; (Ti-Hf-Si)N from the stream of separated
metal plasma. For the system (Ti-Zr-Si)N crystallites identified (Zr,Ti) N solid solution based on
cubic lattice type of NaCl. The size of the crystallites varies in the range of operating pressures is
insignificant and is in the range 60 ÷ 70 nm. The hardness of the coatings was 37 GPa. In the case of
the system (Ti-Hf-Si) N phase is formed nanostructed ε-TiN phase with quasi α-Si₃N₄
and HfSi₂-nc. The maximum hardness is H = 42,7 ± 7 GPa.
