Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Технология получения пленок силицида палладия для мощных диодов Шоттки
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Технология получения пленок силицида палладия для мощных диодов Шоттки
Інші назви:
Технологія отримання плівок силіциду паладію для потужних діодів Шоткі
Palladium silicide films technology for power Schottky diodes
Palladium silicide films technology for power Schottky diodes
Тема:
Технологические процессы и оборудование
Посилання:
Технология получения пленок силицида палладия для мощных диодов Шоттки / Л.П. Ануфриев, В.В. Баранов, Я.А. Соловьев, М.В. Тарасиков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 4. — С. 55-56. — Бібліогр.: 2 назв. — рос.
Дата:
2005
Переглядів:
874
Завантажень:
836
Анотація:
Термическое испарение палладия в высоком вакууме позволяет получать слои Pd₂Si непосредственно в процессе напыления без последующей термообработки.
