Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике

dc.contributor.author	Белянин, А.Ф.
dc.contributor.author	Самойлович, М.И.
dc.contributor.author	Ковальский, К.А.
dc.contributor.author	Петухов, К.Ю.
dc.date.accessioned	2014-01-25T11:15:44Z
dc.date.available	2014-01-25T11:15:44Z
dc.date.issued	2005
dc.identifier.citation	Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, К.А. Ковальский, К.Ю. Петухов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 4. — С. 46-54. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53609
dc.description.abstract	Показаны условия получения и эксплуатационные характеристики слоистых структур, включающих AlN, ZnO, алмаз и алмазоподобный углерод, для акусто- и эмиссионной электроники.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Технологические процессы и оборудование	uk_UA
dc.title	Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике	uk_UA
dc.title.alternative	Отримання наносгруктурованих плівок AlN та ZnO та їх застосування в електронній техніці	uk_UA
dc.title.alternative	Obtaining nanostructural of films AlN and ZnO and their application in electronics	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA