Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике
Інші назви:
Отримання наносгруктурованих плівок AlN та ZnO та їх застосування в електронній техніці
Obtaining nanostructural of films AlN and ZnO and their application in electronics
Obtaining nanostructural of films AlN and ZnO and their application in electronics
Тема:
Технологические процессы и оборудование
Посилання:
Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, К.А. Ковальский, К.Ю. Петухов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 4. — С. 46-54. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.
Дата:
2005
Переглядів:
819
Завантажень:
834
Анотація:
Показаны условия получения и эксплуатационные характеристики слоистых структур, включающих AlN, ZnO, алмаз и алмазоподобный углерод, для акусто- и эмиссионной электроники.
