Взаимодействие атомарного водорода с поверхностью монокристаллов кремния

dc.contributor.author	Жавжаров, Е.Л.
dc.contributor.author	Матюшин, В.М.
dc.date.accessioned	2014-01-14T23:14:48Z
dc.date.available	2014-01-14T23:14:48Z
dc.date.issued	2006
dc.identifier.citation	Взаимодействие атомарного водорода с поверхностью монокристаллов кремния / Е.Л. Жавжаров, В.М. Матюшин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 4. — С. 61-64. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52976
dc.description.abstract	Определена стабильность во времени потенциала поверхности кристаллов кремния после их модификации, выявлена зависимость механизма взаимодействия атомарного водорода с кристаллами от их параметров.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Материалы электроники	uk_UA
dc.title	Взаимодействие атомарного водорода с поверхностью монокристаллов кремния	uk_UA
dc.title.alternative	Взаємодія атомарного водню з поверхнею монокристалів кремнію	uk_UA
dc.title.alternative	The influence of atomic hydrogen on surface of monocrystals of silicon	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA