Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Взаимодействие атомарного водорода с поверхностью монокристаллов кремния
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Взаимодействие атомарного водорода с поверхностью монокристаллов кремния
Інші назви:
Взаємодія атомарного водню з поверхнею монокристалів кремнію
The influence of atomic hydrogen on surface of monocrystals of silicon
The influence of atomic hydrogen on surface of monocrystals of silicon
Тема:
Материалы электроники
Посилання:
Взаимодействие атомарного водорода с поверхностью монокристаллов кремния / Е.Л. Жавжаров, В.М. Матюшин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 4. — С. 61-64. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.
Дата:
2006
Переглядів:
1004
Завантажень:
767
Анотація:
Определена стабильность во времени потенциала поверхности кристаллов кремния после их модификации, выявлена зависимость механизма взаимодействия атомарного водорода с кристаллами от их параметров.
