Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
Інші назви:
Особливості плазмохімічного травлення торців кремнієвих пластин для фотоелектричних перетворювачів
Peculiarity of plasmachemical etching of silicon plate edges of photoelectric converters
Peculiarity of plasmachemical etching of silicon plate edges of photoelectric converters
Тема:
Технологические процессы и оборудование
Посилання:
Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей / О.А. Федорович, М.П. Кругленко, Б.П. Полозов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 6. — С. 46-49. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
Дата:
2009
Переглядів:
765
Завантажень:
621
Анотація:
Выбраны оптимальные режимы плазмохимического травления торцов пластин в реакторе, разработанном в ИЯИ, который по производительности превосходит лучший зарубежный аналог при более высоком качестве обработки пластин.
