Наливайко, О.Ю.; Турцевич, А.С.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2012)
Исследовано влияние условии осаждения на состав пленок полукристаллического кремния, легированного в процессе роста кислородом (Г/КЛК). Разработана адсорбционно-кинетическая модель процесса осаждения ПКЛК с использованием ...