Береснев, В.М.; Клименко, С.А.; Соболь, О.В.; Гранкин, С.С.; Столбовой, В.А.; Турбин, П.В.; Новиков, В.Ю.; Мейлехов, А.А.; Литовченко, С.В.; Маликов, Л.В.
(Сверхтвердые материалы, 2016)
Для вакуумно-дуговых многослойных Mo₂N/CrN-систем с нанометровой толщиной слоев проведено комплексное исследование влияния технологических параметров, ответственных за энергетическое состояние осаждаемых частиц, на элементный ...