Буджак, Я.С.; Новосядлый, С.П.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 1998)
Разработана технология формирования тонкопленочных конденсаторов на основе базовых слоев β-тантала ионным распылением танталовой мишени при одновременном легировании элементами Iб, IIб, III, IV, Vа, VIа, VIIа, VIIIа ...