Перегляд за автором "Марчук, И.А."

Сортувати за: Порядок: Результатів:

  • Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний» 
    Смынтына, В.А.; Кулинич, О.А.; Яцунский, И.Р.; Свиридова, О.В.; Марчук, И.А. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2011)
    Увеличение толщины слоя поликристаллического р-кремния приводит к увеличению дрейфовой составляющей тока в зоне пространственного заряда контакта, возникающей вследствие увеличения поверхностной плотности рассеивающих ...
  • Роль пластической деформации в получении нанокремния 
    Смынтына, В.А.; Кулинич, О.А.; Яцунский, И.Р.; Марчук, И.А. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2011)
    В результате высокотемпературного окисления Si в приповерхностных слоях образуется сложная дефектная область. Стравливание SiO₂ и обработка поверхности избирательными травителями позволяет получать наноструктурированный ...
  • Фотолюминесцентный метод исследования пластической деформации на границе раздела «SiO₂—Si» 
    Кулинич, О.А.; Яцунский, И.Р.; Ештокина, Т.Ю.; Брусенская, Г.И.; Марчук, И.А. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2012)
    Показана возможность использования метода фотолюминесценции для изучения механизмов пластической деформации на границе «оксид кремния — кремний» в процессе получения слоев наноструктурированного кремния деформационным методом.