Васильев, В.А.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2002)
Комплекс позволяет исследовать оптические свойства полупроводниковых материалов, в частности, ширину запрещенной зоны, энергию ионизации примесей. В его основу положен метод оптоемкостной спектроскопии. Метод является ...