Влияние режимов вакуумно-дугового осаждения в среде азота на фазовый состав, субструктурные характеристики и механические свойства нанокристаллических покрытий системы Мо-N

Abstract

Методом ваккумно-дугового осаждения получены сверхтвердые нанокристаллические покрытия нитрида молбидена с твердостью достигающей 55 ГПа. Вакуумно-дуговое осаждение в среде азота приводит к образованию покрытий нитрида молибдена состава Mo₂N. Скорость осаждения является важным фактором, определяющим фазовый состав покрытий. При скорости осаждения 3,5 км/час формируются двухфазные кондесанты, состоящие из γ- и β-Mo₂N фаз.

Методом вакуумно-дугового осадження отримані надтверді нанокристалічні покриття нітриду молібдену з твердістю досягає 55 ГПа. Вакуумно-дугове осадження в середовищі азоту призводить до утворення покриттів нітриду молібдену складу Mo₂N. Швидкість осадження є важливим фактором, що визначає фазовий склад покриттів. При швидкості осадження 3,5 км / год формуються двофазні кондесанти, що складаються з γ- і β-Mo₂N фаз.

The vacuum-arc deposition method was superhard nanocrystalline coating of molybdenum nitride with a hardness reaching 55 GPa. Vacuum arc deposition in a nitrogen atmosphere results in the formation of molybdenum nitride coating composition Mo₂N. The deposition rate is an important factor in determining the phase composition of the coatings. At a deposition rate of 3.5 km / h are formed kondesanty biphasic, consisting of γ- and β-Mo₂N phases.