Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Установка для осаждения материалов из газовой фазы
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
| dc.contributor.author | Корж, А.Ф. | |
| dc.contributor.author | Лонин, Ю.Ф. | |
| dc.contributor.author | Пилипец, Ю.О. | |
| dc.contributor.author | Хованский, Н.А. | |
| dc.contributor.author | Шеремет, В.И. | |
| dc.contributor.author | Широков, Б.М. | |
| dc.date.accessioned | 2016-04-17T22:03:27Z | |
| dc.date.available | 2016-04-17T22:03:27Z | |
| dc.date.issued | 2007 | |
| dc.identifier.citation | Установка для осаждения материалов из газовой фазы / А.Ф. Корж, Ю.Ф. Лонин, Ю.О. Пилипец, Н.А. Хованский, В.И. Шеремет, Б.М. Широков // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 1-2. — С. 98–100. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. | uk_UA |
| dc.identifier.issn | 1999-8074 | |
| dc.identifier.uri | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98819 | |
| dc.description.abstract | Разработана установка для газофазного осаждения материалов. Выполнена оценка газодинамических параметров потока парогазовой смеси в реакционном объеме при обтекании покрываемой поверхности. Исследованы процессы осаждения вольфрама и карбида бора. | uk_UA |
| dc.description.abstract | Розроблена установка для газо фазного осадження матеріалів. Виконано оцінку газодинамічних параметрів потоку пара газової суміші в реакційному об‘ємі при обтіканні покриваючої поверхні. Дослідженні процеси осадження вольф-раму та карбіду бора. | uk_UA |
| dc.description.abstract | The installation for gas-phase deposition of materials is developed. Gas- dynamic parameters of a vapor-gas mixture flow in the reaction volume by fowaround of the surface being coated are evaluated. The processes of tungsten and boron carbide deposition are investigated. | uk_UA |
| dc.language.iso | ru | uk_UA |
| dc.publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України | uk_UA |
| dc.relation.ispartof | Физическая инженерия поверхности | |
| dc.title | Установка для осаждения материалов из газовой фазы | uk_UA |
| dc.title.alternative | Установка для осадження матеріалів із газової фази | uk_UA |
| dc.title.alternative | Installation for gas-phase deposition of materials | uk_UA |
| dc.type | Article | uk_UA |
| dc.status | published earlier | uk_UA |
| dc.identifier.udc | 669.094.54:661.87.621:661.668 |
