Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках

Abstract

Нами предложен метод оценки величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в плазменной технологической установке, прямые измерения которого затруднены. Метод основан на измерении координат точки поворота на кривой зажигания ВЧ разряда и использовании известных значений дрейфовой скорости электронов в газе. Полученные с помощью нашего метода результаты близки к данным прямых измерений ВЧ напряжения на потенциальном электроде, а также позволяют получить разумные с физической точки результаты (совпадение правых ветвей кривых зажигания ВЧ разряда для разных частот), согласующиеся с результатами других работ.

We propose a technique for evaluating the RF potential at the driven electrode in a technological gas-discharge device where the direct measurements are impeded. The technique is based on registering the coordinates of the turning point at the RF discharge breakdown curve and using the well-known values of the electron drift velocity in a gas. The results we obtained with our technique are close to the data of direct measuring of the RF potential at the driven electrode, and they also permit to get the results reasonable from the physical point of view (coincidence of right-hand branches of RF discharge breakdown curves for different frequencies), in agreement with the results of other papers.

Нами запропонований метод оцінки величини ВЧ напруги на потенційному електроді в плазмовій технологічній установці, прямі виміри якого затруднені. Метод заснований на вимірі координат точок повороту на кривій запалювання ВЧ розряду і використанні відо-мих значень дрейфової швидкості електронів у газі. Отримані за допомогою нашого методу результати близькі до даних прямих вимірів ВЧ напруги на потенційному електроді, а також дозволяють одержати розумні з фізичної точки результати (збіг правих галузей кривих запалювання ВЧ розряду для різних частот), що погоджуються з результатами інших робіт.