Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He

Abstract

С помощью рентгеновской дифракции и электронной микроскопии поперечных срезов исследованны структурные изменения в многослойных периодических композициях Mo/Sі во время облучения ионами He. Установлено, что облучение вызывает уменьшение периода многослойной композиции, которое сопровождается уменьшением толщиныслоев молибдена и кремния, возрастанием толщиныперемешанных зон и уменьшением их плотности. В многослойном покрытии развиваются сжимающие напряжения

За допомогою рентгенівської дифракції та електронної мікроскопії поперечних зрізів досліджені структурні зміни в багатошарових періодичних композиціях Mo/Si під час опромінювання іонами He. Встановлено, що опромінювання викликає зменшення періоду багатошарової композиції, яке супроводжується зменшенням товщини шарів молібдену та кремнію, зростанням товщини перемішаних зон та зменшенням їх густини. В багатошаровому покритті розвиваються стискуючі напруги.

The structural changes in Mo/Si multilayer coatings induced by He ions irradiation were studied. The electron microscopy of cross-sections and low-angle x-ray diffraction were used. It was shown that irradiation lead to shrinkage of multilayer’s period and thicknesses of Mo and Si layers, growth of mixed zones, decreasing of mixed zone density. Compressing stresses in the coating were formed during irradiation.