Исследование распределения азота в образцах, полученных ионно-стимулированным осаждением пленок Cr на алюминий при бомбардировке ионами азота

Abstract

Работа посвящена разработке методов поверхностного упрочнения изделий из алюминиевых сплавов методом ионно-стимулированного осаждения пленок Cr-N. Авторами исследовано распределение азота в пленках и в алюминиевой подложке. Для исследования привлекались методы вторичной ионной масс спектрометрии, ядерных реакций. Была разработана компьютерная модель, позволяющая адекватно описывать распространение азота при повышенных температурах в растущей пленке и сопрягающих слоях подложки. Установлено хорошее соответствие между полученными экспериментальными резуль татами и данными расчетов

Робота присвячена розробці методів поверхневого зміцнення виробів з алюмінієвих сплавів методом іон но-стимульованого осадження плівок Cr-N. Авторами досліджений розподіл азоту в плівках та в алюмінієвій підкладинці. Для дослідження використовувалися методи вторинної іонної мас-спектрометрії, ядерних реакцій. Була розроблена комп’ютерна модель, що дозволяє адекватно описувати поширення азоту при підвищених температурах у зростаючій плівці та шарах підкладинки, які стикаються з нею. Встановлено хоро шу відповідність між отриманими експерименталь ними результатами і даними розрахунків.

The object of the proposed paper is the development of me-thods of surface hardening of aluminum pieces produced by ion-induced deposition of Cr-N films. Authors inves-tigated nitrogen distribution in films and in aluminum substrate. Methods of secondary ion massspectrometry and of nuclear reaction were used for this purpose. The procedure of computer simulation was developed that describes adequately nitrogen penetration in a growing film and in substrate interfacing layer. Agreement of obtained experimental results and of computer simulation data was established.