Очистка кремния от фоновых и легирующих примесей при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке

Домашня сторінка
→
Фізико-технічні та математичні науки
→
Відділення фізико-технічних проблем матеріалознавства
→
Современная электрометаллургия
→
Современная электрометаллургия, 2011
→
Современная электрометаллургия, 2011, № 4
→
Переглянути статтю

dc.contributor.author	Аснис, Е.А.
dc.contributor.author	Пискун, Н.В.
dc.contributor.author	Статкевич, И.И.
dc.date.accessioned	2016-03-13T19:30:23Z
dc.date.available	2016-03-13T19:30:23Z
dc.date.issued	2011
dc.identifier.citation	Очистка кремния от фоновых и легирующих примесей при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке / Е.А. Аснис, Н.В. Пискун, И.И. Статкевич // Современная электрометаллургия. — 2011. — № 4 (105). — С. 12-13. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	0233-7681
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/96283
dc.description.abstract	Приведены данные о влиянии стерильности вакуумной плавильной камеры на содержание фоновых и легирующих примесей в монокристаллах кремния, полученных способом электронно-лучевой бестигельной зонной плавки.	uk_UA
dc.description.abstract	Data are given about the effect of sterility of vacuum melting chamber on content of background and alloying impurities in silicon single crystals produced by electron beam crucibleless zonal melting.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Современная электрометаллургия
dc.subject	Электронно-лучевые процессы	uk_UA
dc.title	Очистка кремния от фоновых и легирующих примесей при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке	uk_UA
dc.title.alternative	Refining of silicon from background and alloying impurities in electron beam crucibleless zonal melting	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA
dc.identifier.udc	669.187.826