Анотація:
На базе экспериментальных данных о фазовом составе вакуумных конденсатов Al?O?, ZrO? и Y?O? толщиной до 50 мкм, осажденных при различных температурах подложки, рассмотрены возможные причины стабилизации высокотемпературных модификаций исследованных оксидов при комнатной температуре и предложен механизм информирования в зависимости от скорости испарения и температуры конденсации.