Effects of long-term ion bombardment on some optical properties of Rh film mirrors and bulk polycrystalline mirrors

Abstract

The method is suggested for statistical analyzing the surface structure in cases when the spatial size of structure is not negligibly small in comparison with the size of an area to be analyzed. The method is applied to Rh film mirrors subjected to sputtering by ions of deuterium plasma. The r.m.s. heights quantities are defined from STM and from reflectance in the range 250…650 nm. The irregularities height distributions and the spatial length spectra are studied. The data are compared with those for bulk Cu, SS and Mo polycrystalline mirrors tested in similar conditions.

Предложен метод статистического анализа поверхностной структуры в случаях, когда ее пространственный размер не является пренебрежимо малым в сравнении с размером анализируемой области. Метод применяется для пленочных Rh зеркал, распыленных ионами дейтериевой плазмы. Среднеквадратичные величины высот определялись по данным СТМ и коэффициента отражения в диапазоне длин волн 250...650 нм. Вычислены распределения высот неровностей и спектры длин пространственных неоднородностей. Результаты сравниваются с полученными для массивных поликристаллических зеркал из Cu, нержавеющей стали и Mo, распыленных в подобных условиях.

Запропоновано метод статистичного аналізу поверхневої структури у випадках, коли просторовий розмір структури не є нехтовно малим порівняно з розміром аналізованої області. Метод застосовується для плівкових Rh дзеркал, що були розпилені іонами дейтерієвої плазми. Середньоквадратичні величини висот визначалися за даними СТМ і коефіцієнта відбиття в діапазоні довжин хвиль 250...650 нм. Обчислені розподіли висот нерівностей і спектри довжин просторових неоднорідностей. Результати порівнюються з даними, отриманими для масивних полікристалічних дзеркал з Cu, неіржавіючої сталі і Mo, розпилених в подібних умовах.