Хороших, В.М.; Комарь, А.А.; Бровина, М.А.
(2009)
Проведен анализ литературных данных по оценкам эффективности плазменных фильтров и выполнены эксперименты по измерениям скорости осаждения покрытий в плазме вакуумной дуги. Результаты анализа литературы и данные измерений ...