Волков, Ю.Я.; Стрельницкий, В.Е.; Ушаков, В.А.
(Физическая инженерия поверхности, 2013)
Выполнен краткий обзор развития работ по синтезу алмазных покрытий из плазмы газового
разряда в СВЧ устройствах (метод MW CVD – microwave plasma chemical vapor deposition).
Рассмотрены существующие СВЧ устройства для ...