Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем

Домашня сторінка
→
Фізико-технічні та математичні науки
→
Відділення ядерної фізики та енергетики
→
Вопросы атомной науки и техники
→
Bопросы атомной науки и техники, 2000
→
Вопросы атомной науки и техники, 2000, № 4
→
Переглянути статтю

dc.contributor.author	Опалев, О.А.
dc.contributor.author	Пашнев, В.К.
dc.contributor.author	Ковальчук, И.К.
dc.contributor.author	Стрельницкий, В.Е.
dc.contributor.author	Белоус, В.А.
dc.contributor.author	Колупаева, З.И.
dc.date.accessioned	2015-03-12T20:08:31Z
dc.date.available	2015-03-12T20:08:31Z
dc.date.issued	2000
dc.identifier.citation	Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем / О.А. Опалев, В.К. Пашнев, И.К. Ковальчук, В.Е. Стрельницкий, В.А. Белоус, З.И. Колупаева // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 4. — С. 158-164. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	1562-6016
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/78213
dc.description.abstract	Целью настоящей работы является исследование тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, как высокоэффективного средства для нанесения алмазной пленки и роста отдельных кристаллов алмаза, а также обсуждение процессов роста кристаллов алмаза и синтеза сплошной алмазной пленки на подложках из молибдена и вольфрама.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Вопросы атомной науки и техники
dc.subject	Физика радиационных и ионно-плазменных технологий	uk_UA
dc.title	Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA
dc.identifier.udc	546.26.-162