Свойства нанокомпозитных нитридных покрытий

Abstract

В обзоре рассмотрено современное состояние результатов исследований по формированию структуры и свойств нанокристаллических нанокомпозитных покрытий, полученных авторами и учеными других научных школ. Рассмотрены некоторые механизмы, позволяющие объяснить особенности строения и физико-химические свойства нанокристаллических нанокомпозитных покрытий. Представлен анализ влияния технических параметров осаждения на фазовый состав, микроструктуру и физико-механические свойства покрытий в нанокристаллическом и аморфно-нанокристаллическом структурном состоянии.

В огляді розглянуто сучасний стан результатів досліджень стосовно формування структури і властивостей нанокристалічних нанокомпозитних покриттів, отриманих авторами та вченими інших наукових шкіл. Розглянуто деякі механізми, що дозволяють пояснити особливості будови і фізико-хімічні властивості нанокристалічних нанокомпозитних покриттів. Представлений аналіз впливу технічних параметрів осадження на фазовий склад, мікроструктуру та фізико-механічні властивості покриттів у нанокристалічному і аморфно-нанокристалічному структурному стані.

In this review current research on the formation of the structure and properties of nanocrystalline nanocomposite coatings, obtained by the authors, and a number of other scientific schools. Some mechanisms to explain the structural features and physical-chemical properties of nanocrystalline nanocomposite coatings are considered. An analysis of the influence of technological parameters of deposition on the phase composition, microstructure and mechanical properties of coatings with nanocrystalline and nanocrystalline-amorphous structural state is presented.