Получение вакуумно-дуговых высокотвердых Mo-N покрытий

Abstract

Получены высокотвердые вакуумно-дуговые Mo-N покрытия, проведены исследования зависимости их твердости от давления азота при испарении молибдена в установке “Булат-6” с магнитным полем в области испаряемого катода. Показано, что их твердость может достигать 55 ГПа, при этом на нее существенное влияние оказывает величина потенциала подложки. Подача на подложку высоковольтных импульсов в процессе осаждения увеличивает твердость покрытий. Высокотвердые покрытия содержат фазы β-Mo₂ N с тетрагональной кристаллической решеткой и γ-Mo₂ N с кубической решеткой, а также обладают относительно низким коэффициентом трения.

Отримані високотверді вакуумно-дугові Mo-N покриття, проведені дослідження залежності їхньої твердості від тиску азоту при випаровуванні молібдену в установці “Булат-6” з магнітним полем в області катоду, що випарюється. Показано, що їхня твердість може досягати 55 ГПа, при цьому на неї істотний вплив дає величина потенціалу підкладки. Подача на підкладку високовольтних імпульсів у процесі осадження збільшує твердість покриттів. Високотверді покриття містять фази β-Mo₂ N з тетрагональною кристалічною ґраткою і γ-Mo₂ N з кубічною ґраткою, а також мають відносно низький коефіцієнт тертя.

Very hard vacuum-arc Mo-N coatings were obtained, the dependence of their hardness on the nitrogen pressure during evaporation in vacuum plant “Bulat-6” with magnetic field in the area of evaporated cathode was studied. It is shown that coatings hardness can reach 55 GPa, while it is significantly affected by the value of the substrate potential. Very hard vacuum-arc coatings contain phase’s β-Mo₂ N with a tetragonal crystal lattice and γ-Mo₂ N with a cubic lattice, and also have high adhesion and relatively low coefficient of friction.