Капустин, В.Л.; Широков, Б.М.
(Вопросы атомной науки и техники, 2001)
Исследован процесс обработки поверхности металлов в несамостоятельном высокочастотном индукционном разряде аргона.Определена зависимость скорости травления Mo, W, Ta, стали Х18Н10Т от давления в камере, от вкладываемой в ...