Новые подложки для алмазоподобных пленочных элементов электроники

Abstract

Предлагается технология получения нетрадиционных подложек из анодно-оксидированного алюминия для электропроводных алмазоподобных пленок. Анодирование алюминия позволяет формировать покрытия, изолирующие свойства которых значительно превосходят традиционные подложки из керамики. Рассмотрены методы формирования оксида алюминия и способы его уплотнения полимеризацией для достижения требуемых изоляционных и теплофизических характеристик. Результаты работы представляют практическую ценность для создания резисторов, нагревательных элементов и других элементов электроники с повышенной (до 150 Вт) рассеиваемой мощностью.

The «know-how» obtaining surfaces from anodic oxidation aluminium for electro-conduction diamond like films is proposed. Anodic oxidation of aluminium allows to form coverings isolated properties of which considerably surpass traditional surfaces from ceramics. The methods of formation of alumina and ways of its densification by polymerization for achievement of required isolation and thermo-physical characteristics have been considered. The results of work represent practical value for creating resistors, heating elements and other elements of electronics with increased (up to 150 W) dissipated power.