Конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования

dc.contributor.author	Дудник, С.Ф.
dc.contributor.author	Залюбовский, И.И.
dc.contributor.author	Сагалович, А.В.
dc.contributor.author	Сагалович, В.В.
dc.contributor.author	Фареник, В.И.
dc.date.accessioned	2014-11-15T14:32:08Z
dc.date.available	2014-11-15T14:32:08Z
dc.date.issued	2001
dc.identifier.citation	Конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования / С.Ф. Дудник, И.И. Залюбовский, А.В. Сагалович, В.В. Сагалович, В.И. Фареник // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 3. — С. 49-52. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70863
dc.description.abstract	Обосновано применение композиционных материалов типа "основа-покрытие" в качестве конструкционных материалов для некоторых энергоемких узлов технологического оборудования микроэлектроники (элементы, тепловые узлы, тепловые трубы, тигли и др.). Разработана методика нанесения покрытий и определены условия осаждения, обеспечивающие высокую адгезию, плотность, чистоту покрытий и другие эксплуатационные характеристики.	uk_UA
dc.description.abstract	The application of the composite materials with coatings for the some components of technological equipment for microelectronics (components of the heat furnaces, heat pipes, crucibles etc.) have been justified. The technology of coatings deposition has been worked out and conditions of coatings deposition have been determinated to produce high adhesion, high density, high purity of coatings and other operating characteristics.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Новое технологическое оборудование для микроэлектроники	uk_UA
dc.title	Конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования	uk_UA
dc.title.alternative	The construction materials with coating in components of technological equipment	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA
dc.identifier.udc	621.793.16:669.27