Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме
Тема:
Технология производства
УДК:
621.382
Посилання:
Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме / А.Н. Головяшкин, Д.В. Лежнев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 42-44. — рос.
Дата:
2001
Переглядів:
725
Завантажень:
371
Анотація:
Рассмотрен метод электрического взрыва в вакууме для получения тонких пленок медно-цинковых сплавов. Приводится описание технологического оборудования и оснастки для автоматизации процесса вакуумного напыления. Приведены технологические режимы получения тонких пленок, результаты исследования химического состава сплава в напыляемых пленках и их адгезионных свойств. Дан анализ полученных результатов, а также основные достоинства и недостатки метода электрического взрыва.
