Новосядлый, С.П.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2002)
Исследованы высокочастотные плазменные процессы осаждения и травления функциональных слоев при формировании структур БИС с топологическими размерами 0,5—0,8 мкм. Технология обеспечивает минимально привносимую дефектность ...