Выровец, И.И.; Грицына, В.И.; Опалев, О.А.; Решетняк, Е.Н.; Стрельницкий, В.Е.
(Физическая инженерия поверхности, 2007)
Поликристаллические алмазные пленки осаждались на подложки из поликристаллического Mo
и монокристаллического Si в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем, в смеси
Н2 и СН4
. Методами рентгеноструктурного ...